바로가기 메뉴
본문 바로가기
주요메뉴 바로가기
연구ㆍ행정부서 상상을 현실로, 진화하는 ICT세상, 고객과 함께 ICT미래를 열어가겠습니다.

기술이전대상기술

IGBT 전력반도체 적용을 위한 레이저 어닐링 평가 기술


* 본 기술은 전력반도체 특히 FS-IGBT 소자에 적용 가능한 레이저 어닐링 공정을 개발하기 위해 레이저 광침투 깊이 분석, 레이저에 의한 웨이퍼 Damage 평가 최종적으로 FS-IGBT 소자에 레이저 어닐링을 적용하여 전력반도체 웨이퍼 후면용 레이저 어닐링 장비를 개발하기 위한 공정평가기술


TOP