유기기상증착법에 의한 나노렌즈 제작기술
- 작성자여순일
- 배포일2018.01.25
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0 평평한
박막이 아닌 나노렌즈 어레이를 형성하기
위하여 특수한 공정을 개발
- 상부발광형 OLED의 상부전극 위에 아래 그림과 같이 나노렌즈어레이를 형성
- 나노렌즈 구조 형성을 위해, 새도우 마스크를 이용한 패터닝 공정을 사용하지 않고,
진공 증착법만을 활용
- 광 추출 구조 형성 시 하부에 위치한 OLED 소자의 손상을 방지하기 위해 열처리나
화학적인 표면처리를 진행하지 않고, 80°C 미만의 온도에서 광 추출 구조를 제조