기술 요약

유기기상증착법에 의한 나노렌즈 제작기술

유기기상증착법에 의한 나노렌즈 제작기

기술 개요

평평한 박막이 아닌 나노렌즈 어레이를 형성하기 위하여 특수한 공정을 개발

- 상부발광형 OLED의 상부전극 위에 아래 그림과 같이 나노렌즈어레이를 형성

- 나노렌즈 구조 형성을 위해, 새도우 마스크를 이용한 패터닝 공정을 사용하지 않고, 

진공 증착법만을 활용

- 광 추출 구조 형성 시 하부에 위치한 OLED 소자의 손상을 방지하기 위해 열처리나

화학적인 표면처리를 진행하지 않고, 80°C 미만의 온도에서 광 추출 구조를 제조

특징 및 장점

에너지 절감을 위한 외광효율이 최대 100% 향상된 OLED용 광추출 가능

하부발광형의 AMOLED 광추출 기술로 250°C 이하의 저온공정으로 제조할 수 있는 금

속 비젖음 마스크를 이용한 랜덤나노구조(RNS) 가능

유무기 하이브리드 물질을 이용한 저온 평탄층을 AMOLED 구조에 적합하도록 비아

홀 패터닝 공정이 가능한 기술

상기 하부발광형 패턴된 광추출 하부발광형 OLED 소자의 광추출 효율 56% 증가

상부발광형 OLED 소자에서 55% 이상의 광추출 효율 증가

기술적

기대효과

초저가 플렉서블 Lighting Surface 개발 가능

에너지 절감을 위한 외광효율이 최대 100% 향상된 OLED용 광추출 가능

내환경성을 갖는 군사용 통합헬멧의 영상전시용 OLED 마이크로 디스플레이 가능

특허 사항

특허 명

출원등록

사항

문의: ICT소재부품연구소 기업지원협력실(042-860-5907, siyeo@etri.re.kr)

Key Word: 나노렌즈, 유기기상증착법, 제작